[发明专利]精密掩模板及大尺寸OLED显示面板辅助电极的制备方法有效
| 申请号： | 201610912008.4 | 申请日： | 2016-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN106399935B | 公开（公告）日： | 2019-02-01 |
| 发明（设计）人： | 姜亮;吴聪原 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/52;H01L51/56 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人： | 林才桂 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种精密掩模板及大尺寸OLED显示面板辅助电极的制备方法。该精密掩模板包括掩模本体(3)、及与掩模本体(3)的外围固定的矩形边框(5)；所述掩模本体(3)划分为数个与OLED显示面板尺寸对应的蒸镀区域(31)，每一蒸镀区域(31)包括呈矩阵式排列的多行多列的网格形短缝(311)；一列网格形短缝(311)配合蒸镀机台的偏移用于制备一条连续的辅助电极。该精密掩模板能够有效防止在蒸镀过程中发生变形及错位，使制得的辅助电极位置精度高，连续性好，有效降低IR‑drop。 | ||
| 搜索关键词： | 精密 模板 尺寸 oled 显示 面板 辅助 电极 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种大尺寸OLED显示面板辅助电极的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1、提供蒸镀用精密掩模板、及OLED基板(7)；所述精密掩模板包括掩模本体(3)、及与掩模本体(3)的外围固定的矩形边框(5)；所述掩模本体(3)划分为数个与OLED显示面板尺寸对应的蒸镀区域(31)，每一蒸镀区域(31)包括呈矩阵式排列的多行多列的网格形短缝(311)；步骤2、将所述精密掩模板、及OLED基板(7)安装于蒸镀机台上；步骤3、透过所述精密掩模板对OLED基板(7)进行第一次蒸镀成膜，形成呈矩阵式排列的多个相互断开的电极块(71’)；步骤4、保持精密掩模板不动，蒸镀机台偏移一次或多次，相应透过所述精密掩模板对OLED基板(7)进行二次或多次蒸镀成膜，使一列网格形短缝(311)对应制备出一条连续的辅助电极(71)。
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