[发明专利]一种MEMS热式声粒子传感器有效
| 申请号： | 201610878685.9 | 申请日： | 2016-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN107917750B | 公开（公告）日： | 2020-06-26 |
| 发明（设计）人： | 罗中良;李哲;高成臣;金玉丰;郝一龙 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | G01H5/00 | 分类号： | G01H5/00 |
| 代理公司： | 北京万象新悦知识产权代理有限公司 11360 | 代理人： | 张肖琪 |
| 地址： | 100871*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明(一种MEMS热式声粒子传感器)涉及微电子机械加工领域，尤其涉及一种MEMS热式声粒子传感器的设计方法。目前已有的MEMS热式声粒子传感器都是基于两线式流量计原理，自噪声较大，且高频特性较差。为解决这种问题，本发明提供了一种MEMS三线式热式声粒子传感器结构，可应用于声源定位。该传感器为三层悬臂梁结构，由上下极板粘接而成，包括左右两个正交平面的测量单元。每个测量单元上下两层各有两根感温电阻悬臂梁，中层有一根来自上极板或下极板的加热电阻悬臂梁。上下层的四根悬臂梁组成矩形，中层的悬臂梁位于矩形中心。加工步骤包括：每个测量单元的上下极板的正、反两面各制作三根悬臂梁，去掉上下极板中多余的悬臂梁，将上下极板粘接在一起。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 热式声 粒子 传感器 | ||
【主权项】：
一种MEMS热式声粒子传感器的结构，该传感器包括由覆盖铂引线的横梁组成的两个正交的测量单元，其特征在于，每个测量单元的横梁分布为三层结构，可以测量二维空间的声粒子速度，联合两个正交的测量单元可以测量三维空间的声粒子速度。
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