[发明专利]一种MEMS热式声粒子传感器

权利要求书

1.一种MEMS热式声粒子传感器的结构，该传感器包括由覆盖铂引线的横梁组成的两个正交的测量单元，其特征在于，每个测量单元的横梁分布为三层结构，上层有两根横梁，中层有一根横梁，下层有两根横梁，从测量单元的横截面看，上层和下层的四根横梁组成矩形，中层的横梁位于矩形中心，每个测量单元上层和下层的四根横梁作为感温电阻使用，中层的横梁作为加热电阻使用，可以测量二维空间的声粒子速度，联合两个正交的测量单元可以测量三维空间的声粒子速度。

2.根据权利要求1中所述的声粒子传感器的结构，其特征在于，三层结构由两片极板粘接而成，中间的悬梁来自上极板或下极板。

3.根据权利要求2所述的声粒子传感器的结构，其特征在于，三层结构的加工步骤包括：上下极板每个测量单元的正、反两面各制作三根横梁，根据需要去掉上下极板中不需要的横梁，将上下极板粘接在一起。