[发明专利]一种平板颗粒度检测方法有效
| 申请号： | 201610877673.4 | 申请日： | 2016-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN107884318B | 公开（公告）日： | 2020-04-10 |
| 发明（设计）人： | 韩雪山;申永强 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N15/02 | 分类号： | G01N15/02;G03B15/05 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种平板颗粒度检测方法，该方法主要包括以下步骤：通过光源模块照射待检测平板，产生照明视场；调节照明视场半宽；调节照明视场中心光强和照明视场半宽边缘处光强；接着，调整光源强度、位置以及探测器的位置；通过探测器获取平板异物信号。本发明极大的降低了颗粒镜像以及平板下表面图案串扰，提高信噪比，进而可以提高平板异物检测的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平板 颗粒 检测 方法 | ||
【主权项】：
一种平板颗粒度检测方法，其特征在于，包括以下步骤：通过光源模块照射待检测平板，产生照明视场；调节照明视场半宽；调节照明视场中心光强和照明视场半宽边缘处光强；接着，调整光源模块的光源强度、位置以及探测器的位置；通过探测器获取平板异物信号。
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