[发明专利]光照射装置以及光照射方法

摘要

本发明提供光照射装置以及光照射方法，在最佳的定时监视是否对于对象物照射有适当量的光，根据监视结果对光源进行适当控制。上侧保持了对象物(W)的工作台(2)，通过搬运机构(3)向X方向移动，在通过照射区域时工件(W)受到光照射。工作台(2)的侧面(21)上安装的照度计的测定值向控制器(7)发送，控制器(7)所具备的点亮控制单元(73)对测定值进行累计而计算光量，并与设定为光量的光基准值进行比较，以差分消失的方式将控制指令信号向光源(11)的点亮电源(110)发送。

主权项

一种光照射装置，具备朝照射区域照射光的光照射器、使对象物沿着以通过照射区域的形式设定的搬运路搬运的搬运机构、以及控制器，其特征在于，光照射器具备光源以及向光源供给电力的点亮电源，搬运机构是以设定通过速度通过照射区域而搬运对象物的机构，该设定通过速度通过这样的方式被确定：通过被光照射的照射区域，由此对象物所受到的光量成为规定值，在该搬运机构上，设置有对在对象物通过照射区域时的光照射的强度或者量进行测定的测定器，控制器具备存储部、以及对由点亮电源向光源供给的电力进行控制的点亮控制单元，存储部存储有对于对象物的光照射的强度或者量的基准值即光基准值，点亮控制单元是将存储部所存储的光基准值与测定器的测定值或者根据测定值计算出的计算值进行比较、以其差分消失的方式向点亮电源发送控制指令信号的单元，上述照射区域在与搬运路交叉的方向上长，上述光基准值被设定为在上述照射区域的长度方向即区域长度方向上分布的光基准值分布，并存储于上述存储部，上述点亮控制单元根据上述测定器对上述强度或者量进行了测定时的该测定器的区域长度方向上的位置，从光基准值分布中取得该位置的光基准值，并通过其与所取得的光基准值的比较来发送上述控制指令信号。