[发明专利]光照射装置以及光照射方法

说明书

本发明提供光照射装置以及光照射方法，在最佳的定时监视是否对于对象物照射有适当量的光，根据监视结果对光源进行适当控制。上侧保持了对象物(W)的工作台(2)，通过搬运机构(3)向X方向移动，在通过照射区域时工件(W)受到光照射。工作台(2)的侧面(21)上安装的照度计的测定值向控制器(7)发送，控制器(7)所具备的点亮控制单元(73)对测定值进行累计而计算光量，并与设定为光量的光基准值进行比较，以差分消失的方式将控制指令信号向光源(11)的点亮电源(110)发送。

技术领域

本申请的发明涉及以各种目的朝对象物照射光的装置以及方法。

背景技术

光在工业上的利用在各种领域中正在发展，以各种目的来进行朝对象物照射光。特别是，通过光使对象物的性质变化的光处理的技术，在各种制品的制造工序中被广泛利用。

例如，在液晶显示器的制造工序中，近年，变得较多采用被称为光取向的光处理。光取向为如下技术：在得到液晶显示器用的取向层、视场角补偿膜用的取向层时，通过对取向层用的膜材进行光照射，由此得到取向膜(成为取向层的膜)。

在这样的光处理的领域中，有时采用如下的构成：预先向某个确定的区域照射光，将光处理的对象物(以下，称为工件)以在该区域(以下，称为照射区域)通过的方式进行搬运。在上述光取向的领域中，也如专利文献1所示那样，使用采用了这种构成的装置。

专利文献1：日本特开2014－174287号公报

在进行上述那样的光处理的光照射装置中，需要对工件赋予适当的光量。当光量不足时，一般来说光处理变得不充分，相反在光量过度的情况下，基于光的化学反应发展，不能够进行适当的光处理。例如，光照射装置所具备的光源，光输出逐渐降低的情况较多。该情况是由劣化导致的情况较多，但即使没有达到劣化程度，有时光输出性能也从最初的状态降低若干。

上述那样的光照射装置，以在照射区域中以规定的照度进行光照射的情况为前提，以规定的速度对工件进行搬运而使其通过照射区域，由此对工件赋予规定量的光能量。由此，当照度从预定的值降低时，直接导致光能量的降低，成为光处理不足。

考虑到这一点，日本特开2014－174287号公报中公开了在照射区域配置照度传感器来确认是否得到所希望的光照射能量的技术。在该公报中，在光照射结束后的工件的排出工序的期间中，将照度传感器配置到照射区域，进行光照射能量的确认。

然而，即使在对工件进行光照射以外的期间在照射区域中配置照度传感器来进行光照射能量的确认，也不能保证在对实际的工件进行光照射时赋予足够的能量。例如，有可能存在如下情况：在对于工件的光照射中产生某种故障而光源的输出降低、以不足的照度进行了光照射的情况下，之后，在配置照度传感器来进行检查之前的期间该故障消除(不稳定地产生故障的情况)。在该情况下，成为不能够掌握在光量不足的情况下进行了处理的状态。并且，在该情况下，当在检查后重新开始处理时，还存在该故障又产生而在照度不足的情况进行处理的情况，会进一步进行光量不足的处理。

发明内容

本申请的发明是考虑到上述课题而进行的，其目的在于提供光照射装置以及光照射方法，在最佳的定时监视是否对于对象物照射有适当量的光，根据监视结果对光源进行适当控制，由此常时对于对象物进行适当量的光照射。

为了解决上述课题，本申请的技术方案1记载的发明具有的构成为，一种光照射装置，具备朝照射区域照射光的光照射器、使对象物沿着以通过照射区域的形式设定的搬运路搬运的搬运机构、以及控制器，

光照射器具备光源以及向光源供给电力的点亮电源，

搬运机构是以设定通过速度通过照射区域而搬运对象物的机构，该设定通过速度被确定为，通过在被光照射的照射区域中通过，由此对象物所受到的光量成为规定值，

在该搬运机构上，设置有对在对象物通过照射区域时的光照射的强度或者量进行测定的测定器，