[发明专利]一种金刚石线锯切割太阳电池用多晶硅片制绒的预处理方法在审

专利信息
申请号: 201610851356.5 申请日: 2016-09-27
公开(公告)号: CN106340569A 公开(公告)日: 2017-01-18
发明(设计)人: 周浪;肖志刚;魏秀琴 申请(专利权)人: 南昌大学
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L31/0236
代理公司: 南昌新天下专利商标代理有限公司36115 代理人: 施秀瑾
地址: 330031 江西省*** 国省代码: 江西;36
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摘要: 一种金刚石线锯切割太阳电池用多晶硅片制绒的预处理方法,其特征是将金刚石线锯切割多晶硅片加热到500~1000°C温度,保温0.5~6小时,然后自然缓慢降温至100°C以下出炉。本发明可使金刚石线锯切割硅片适合于常规湿法制绒,使其平均表面光反射率降低到20~23%水平,如表1所示;绒面微观形貌均匀、圆整,不依切割纹分布,外观上切割痕纹表观显著减弱;其工艺过程简单易行,成本低廉,适合于规模化生产应用。
搜索关键词: 一种 金刚石 切割 太阳电池 多晶 硅片 预处理 方法
【主权项】:
一种金刚石线锯切割太阳电池用多晶硅片制绒的预处理方法,其特征是将金刚石线锯切割多晶硅片加热到500~1000°C温度,保温0.5~6小时,然后自然缓慢降温至100°C以下出炉。
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