[发明专利]一种金刚石线锯切割太阳电池用多晶硅片制绒的预处理方法在审
申请号: | 201610851356.5 | 申请日: | 2016-09-27 |
公开(公告)号: | CN106340569A | 公开(公告)日: | 2017-01-18 |
发明(设计)人: | 周浪;肖志刚;魏秀琴 | 申请(专利权)人: | 南昌大学 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L31/0236 |
代理公司: | 南昌新天下专利商标代理有限公司36115 | 代理人: | 施秀瑾 |
地址: | 330031 江西省*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | 一种金刚石线锯切割太阳电池用多晶硅片制绒的预处理方法,其特征是将金刚石线锯切割多晶硅片加热到500~1000°C温度,保温0.5~6小时,然后自然缓慢降温至100°C以下出炉。本发明可使金刚石线锯切割硅片适合于常规湿法制绒,使其平均表面光反射率降低到20~23%水平,如表1所示;绒面微观形貌均匀、圆整,不依切割纹分布,外观上切割痕纹表观显著减弱;其工艺过程简单易行,成本低廉,适合于规模化生产应用。 | ||
搜索关键词: | 一种 金刚石 切割 太阳电池 多晶 硅片 预处理 方法 | ||
【主权项】:
一种金刚石线锯切割太阳电池用多晶硅片制绒的预处理方法,其特征是将金刚石线锯切割多晶硅片加热到500~1000°C温度,保温0.5~6小时,然后自然缓慢降温至100°C以下出炉。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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