[发明专利]一种基于局部均值思想的IC粒子区域缺陷检测方法有效

专利信息
申请号: 201610844487.0 申请日: 2016-09-23
公开(公告)号: CN106447657B 公开(公告)日: 2019-04-05
发明(设计)人: 刘霖;刘鹏;倪光明;卿亮;杜晓辉;王祥舟;夏翔;张静;刘娟秀;刘永 申请(专利权)人: 电子科技大学
主分类号: G06T7/00 分类号: G06T7/00;G06T7/11
代理公司: 电子科技大学专利中心 51203 代理人: 张杨
地址: 611731 四川省成*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 发明公开了一种基于局部均值思想的IC粒子区域缺陷检测方法,属于数字图像处理领域。通过采集液晶面板IC粒子区域的清晰图像,计算IC里bump区域的像素均值,将bump区域分割为大小相同的小区域,对分割的图像依次求取每个小区域的像素均值,将所有像素均值进行指数拉伸,拉伸后的最大像素均值和最小像素均值;再最大像素均值与最小像素均值做差;差值小于给定的阈值,说明该IC区域无缺陷,如果该差值大于给定的阈值,则说明有缺陷;该方法达到了提高达到检测效率高,速度快的效果。
搜索关键词: 一种 基于 局部 均值 思想 ic 粒子 区域 缺陷 检测 方法
【主权项】:
1.一种基于局部均值思想的IC粒子区域缺陷检测方法,该方法包括以下步骤:步骤1:采集液晶面板IC粒子区域的清晰图像;步骤2:对步骤1中的图像计算IC里bump区域的像素均值;步骤3:将步骤1中IC里的bump区域分割为大小相同的小区域;步骤4:对步骤3中分割的图像依次求取每个小区域的像素均值;步骤5:对步骤4中计算的所有像素均值进行指数拉伸;步骤6:计算步骤5中拉伸后的最大像素均值和最小像素均值;步骤7:将步骤6中的最大像素均值与最小像素均值做差;步骤8:如果步骤7中所得的差值小于给定的阈值,说明该IC区域无缺陷,进入步骤11,如果该差值大于给定的阈值,则说明有缺陷,进入步骤9;步骤9:将步骤6计算的最大均值与步骤2中计算的全图的像素均值做差,再将步骤2中计算全图像素均值与步骤6的最小均值做差,对这两个差值再做差;步骤10:如果步骤9的所得的差值大于0,则说明为异物缺陷,否则为腐蚀缺陷;步骤11:输出缺陷检测结果。
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