[发明专利]一种基于聚合物非对称脊波导的Y分支波导结构

摘要

本发明涉及光集成电路领域，公开了一种基于有机聚合物的采用非对称脊波导结构的Y分支波导。特别针对集成光波导要求体积小的特点，通过采用脊波导中平板芯层相对于脊两边不对称的结构，将其应用于Y分支波导中的弯波导，以减小弯波导产生的辐射损耗，达到缩小分支波导长度的目的。该结构主要特点在于弯波导中采用的脊波导，脊两侧的芯层宽度不相等，弯波导外侧的芯层很窄(即深刻蚀)，这种结构不仅能限制弯波导中光场的辐射损耗，而且还能达到使光场导模中心向波导中间偏移的目的。使用该结构的弯波导具有结构简单、长度短、易于实现的特点。本发明解决了如何缩短集成Y分支波导尺寸的问题，为光集成器件进一步小型化提供了一种有效途径。

主权项

一种基于聚合物非对称脊波导的电光调制器波导结构，其特征在于，沿光场传输方向的波导结构包括：用于耦合输入光场的直波导，用于引导光场的采用非对称脊波导结构的Y分支弯波导，用于光调制的直波导，用于合并光场的采用非对称脊波导结构的Y分支弯波导，用于耦合输出的直波导。