[发明专利]一种基于聚合物非对称脊波导的Y分支波导结构

权利要求书

1.一种基于聚合物非对称脊波导的电光调制器波导结构，其特征在于，沿光场传输方向的波导结构包括：用于耦合输入光场的直波导，用于引导光场的采用非对称脊波导结构的Y分支弯波导，用于光调制的直波导，用于合并光场的采用非对称脊波导结构的Y分支弯波导，用于耦合输出的直波导。

2.如权利要求1所述集成光波导结构，其特征在于，光场经耦合直波导输入，再经Y分支弯波导后分为两路光信号，其中一路加电调制后又经Y分支弯波导与另一路光信号合并在一起，最后通过直波导输出具有调制信号的光信号。

3.如权利要求1所述集成光波导结构，其特征在于，波导由上包层、下包层和芯层构成，波导芯层采用聚合物脊波导。

4.如权利要求1所述集成光波导结构，其特征在于，用于引导光场和合并光场的Y分支弯波导采用正弦弯波导，且脊两边的波导芯层宽度为不对称结构，弯内侧芯层宽度与下包层宽度一致，弯外侧芯层宽度较窄，为深度刻蚀。

5.如权利要求3所述集成光波导结构，其特征在于，波导芯层为脊形波导，形成在下包层之上，包括：与下包层共同延伸并有基本均匀厚度的波导芯层，以及从波导芯层表面突出的波导脊，该波导脊具有均匀的高度，且确定光场的传输路径。