[发明专利]光学测量探针校准有效
| 申请号： | 201610840569.8 | 申请日： | 2016-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN106996739B | 公开（公告）日： | 2020-05-08 |
| 发明（设计）人： | J-P.贝苏彻特;M.蒙施 | 申请（专利权）人： | 乔治费歇尔加工方案公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 周学斌;杜荔南 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明涉及用于测量触觉测量探针（2）的信号引发的感测偏斜I |
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| 搜索关键词： | 光学 测量 探针 校准 | ||
【主权项】：
用于测量触觉测量探针（2）的信号引发的感测偏斜ITr的校准设备（1），所述触觉测量探针（2）具有带感测表面（4）的可偏斜感测元件（3），所述校准设备（1）包含具有用于检测感测元件（3）的感测表面（4）的视场（9）的检测器（5），具有参考表面（8）的参考元件（7），以及计算单元（6），所述检测器优选地是相机或激光测量仪器，所述校准设备（1）的特征在于参考元件（7）的参考表面（8）关于检测器（5）的视场（9）以以下方式布置：在感测元件（3）的感测表面（4）与参考表面（8）的信号引发的接触的情况下，感测表面（4）或者感测表面（4）的部分位于检测器（5）的视场（9）中，检测器（5）和计算单元（6）能够从感测表面（4）的所检测部分计算感测元件（3）的精确位置。
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