[发明专利]电致变色器件以及制造所述器件的方法和装置有效
| 申请号： | 201610832436.6 | 申请日： | 2011-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN107015411B | 公开（公告）日： | 2021-06-18 |
| 发明（设计）人： | 王仲春;安殊·普拉丹;罗伯特·罗兹毕基 | 申请（专利权）人： | 唯景公司 |
| 主分类号： | G02F1/15 | 分类号： | G02F1/15;G02F1/153;G02F1/155 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 章蕾 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本申请涉及电致变色器件以及制造所述器件的方法和装置。常规电致变色器件常常具有不良可靠性和不良性能。使用完全固体和无机材料作出改善。通过形成充当IC层的离子导电电子绝缘界面区域制造电致变色器件。在一些方法中，在形成电致变色层和反电极层后形成界面区域。所述界面区域包含离子导电电子绝缘材料以及所述电致变色层和/或所述反电极层的部件。电致变色器件的材料和微结构提供优于常规器件的性能和可靠性的改善。 | ||
| 搜索关键词： | 变色 器件 以及 制造 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种制造电致变色器件的方法，所述方法包括：(a)通过溅射具有氧浓度的第一溅射气体形成包括电致变色材料的电致变色层或包括反电极材料的反电极层；(b)通过溅射第二溅射气体在所述电致变色层或所述反电极层上方形成中间层，其中所述第二溅射气体相比于所述第一溅射气体具有更高浓度的氧，从而形成包括双层或梯度层的堆叠，所述双层或梯度层包括(i)在(a)中形成的所述电致变色层或所述反电极层，和(ii)所述中间层，其中所述中间层包括所述电致变色材料或所述反电极材料的富氧形态，其中所述中间层与在(a)中形成的所述电致变色层或所述反电极层直接接触；(c)将所述中间层暴露于锂金属；(d)在所述中间层上沉积所述电致变色层和所述反电极层中的另一个；以及(e)将所述中间层的至少一部分转换为离子导电区域，所述离子导电区域与所述中间层同延且包括电子绝缘离子导电材料和所述中间层的材料。
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