[发明专利]一种氮掺杂超晶格金属氧化物薄膜材料的制备方法

摘要

本发明公开了一种氮掺杂超晶格金属氧化物薄膜材料的制备方法，其步骤如下步骤1，选用单晶硅基片作为衬底，进行采用中性洗涤剂表面清洗；步骤2，将单晶硅基片浸泡至碱液中，然后超声震荡清洗；步骤3，配置金属氧化物溶胶；步骤4，将配置好的金属氧化物溶胶滴加至衬底上，进行旋转涂抹法，均匀涂胶后得到金属湿膜；步骤5，采用梯度升温法，得到金属干膜；步骤6，将金属干膜浸泡至氨水溶液中进行加压曝气反应；步骤7，将氮化金属膜烘干后进行退火处理，自然冷却后得到薄膜材料。本发明采用碱液钝化衬底能够大大增加衬底表面粗糙度，提高金属氧化物薄膜的粘附效果，有利于形成自然超晶格结构。

主权项

一种氮掺杂超晶格金属氧化物薄膜材料的制备方法，其特征在于，其步骤如下：步骤1，选用单晶硅基片作为衬底，进行采用中性洗涤剂表面清洗；步骤2，将单晶硅基片浸泡至碱液中，然后取出，超声震荡清洗，自然晾干；步骤3，配置金属氧化物溶胶；步骤4，将配置好的金属氧化物溶胶滴加至衬底上，进行旋转涂抹法，均匀涂胶后得到金属氧化物湿膜；步骤5，采用梯度升温法，持续干燥，得到金属氧化物干膜；步骤6，将金属氧化物干膜浸泡至氨水溶液中进行加压曝气反应，得到氮化金属氧化物膜；步骤7，将氮化金属氧化物膜烘干后进行退火处理，自然冷却后得到薄膜材料。