[发明专利]用于避免污染的定向的极紫外集光器

摘要

本发明涉及一种具有定向的集光器反射镜的极紫外(EUV)辐射源以减少由燃料液滴碎片产生的污染。在一些实施例中，EUV辐射源具有向EUV源容器提供多个燃料液滴的燃料液滴发生器。主激光器配置为产生指向多个燃料液滴的主激光束。主激光束具有足够的能量以点燃来自多个燃料液滴的等离子体，等离子体发射出极紫外辐射。使配置为将极紫外辐射聚焦至EUV源容器的出口孔的集光器反射镜定向，以使从集光器反射镜的顶点向外延伸的法向量以小于90°的角度与重力的方向相交。本发明实施例涉及一种极紫外辐射源、一种极紫外辐射源以及一种产生极紫外辐射的方法。

主权项

1.一种极紫外辐射源，包括：燃料液滴发生器，配置为向极紫外源容器提供多个燃料液滴；主激光器，配置为产生指向所述多个燃料液滴的主激光束，其中，所述主激光束具有足够的能量以点燃来自所述多个燃料液滴的发射极紫外辐射的等离子体；以及集光器反射镜，配置为将所述极紫外辐射聚焦至所述极紫外源容器的出口孔，其中，定向所述集光器反射镜以使从所述集光器反射镜的顶点向外延伸的法向量以小于90°的角度与重力的方向相交，并且所述集光器反射镜的定向使得延伸穿过所述集光器反射镜的所述顶点的水平线位于所述多个燃料液滴和所述主激光束的交叉点上面；其中，所述集光器反射镜具有延伸穿过所述集光器反射镜的所述顶点的开口，所述集光器反射镜的定向还使得所述主激光束从位于所述顶点上面的位置沿着所述法向量穿过所述开口。