[发明专利]微型流体控制装置

摘要

一种微型流体控制装置，包括堆叠设置的进气板、共振片以及压电致动器，其中进气板具有至少一进气孔、至少一汇流排孔及构成一汇流腔室的一中心凹部；共振片具有中空孔洞；压电致动器具有悬浮板、外框及压电陶瓷板；其中共振片与压电致动器之间具有一间隙形成的第一腔室，当压电致动器受驱动时，气体由该进气板的该至少一进气孔导入，经该至少一汇流排孔汇集至该中心凹部，再流经该共振片的该中空孔洞，以进入该第一腔室内，再由该压电致动器向下传输持续推出气体。

主权项

一种微型流体控制装置，适用于一微型气压动力装置，包括：一进气板，具有至少一进气孔、至少一汇流排孔及构成一汇流腔室的一中心凹部，该至少一进气孔供导入气体，该汇流排孔对应该进气孔，且引导该进气孔的气体汇流至该中心凹部所构成的该汇流腔室；一共振片，具有一中空孔洞，对应该进气板的该汇流腔室；以及一压电致动器，具有：一悬浮板，该悬浮板具有介于4mm至8mm之间的长度、介于4mm至8mm之间的宽度以及介于0.1mm至0.4mm之间的厚度；一外框，具有至少一支架，连接设置于该悬浮板及该外框之间；以及一压电陶瓷板，贴附于该悬浮板的一第一表面，且该压电陶瓷板具有不大于该悬浮板边长的边长，具有介于4mm至8mm之间的长度、介于4mm至8mm之间宽度以及介于0.05mm至0.3mm之间的厚度，该压电陶瓷板的该长度及该宽度比值为0.5倍至2倍之间；其中，上述的该压电致动器、该共振片及该进气板依序对应对叠设置定位，且该共振片与该压电致动器之间具有一间隙形成一第一腔室，以使该压电致动器受驱动时，气体由该进气板的该至少一进气孔导入，经该至少一汇流排孔汇集至该中心凹部，再流经该共振片的该中空孔洞，以进入该第一腔室内，再由该压电致动器的该至少一支架之间的一空隙向下传输，以持续推出气体。