[发明专利]微型流体控制装置

权利要求书

1.一种微型流体控制装置，适用于一微型气压动力装置，包括：

一进气板，具有至少一进气孔、至少一汇流排孔及构成一汇流腔室的一中心凹部，该至少一进气孔供导入气体，该汇流排孔对应该进气孔，且引导该进气孔的气体汇流至该中心凹部所构成的该汇流腔室；

一共振片，具有一中空孔洞，对应该进气板的该汇流腔室；以及

一压电致动器，具有：

一悬浮板，该悬浮板具有介于4mm至8mm之间的长度、介于4mm至8mm之间的宽度以及介于0.1mm至0.4mm之间的厚度；

一外框，具有至少一支架，连接设置于该悬浮板及该外框之间；以及

一压电陶瓷板，贴附于该悬浮板的一第一表面，且该压电陶瓷板具有不大于该悬浮板边长的边长，具有介于4mm至8mm之间的长度、介于4mm至8mm之间宽度以及介于0.05mm至0.3mm之间的厚度，该压电陶瓷板的该长度及该宽度比值为0.5倍至2倍之间；

其中，上述的该压电致动器、该共振片及该进气板依序对应对叠设置定位，且该共振片与该压电致动器之间具有一间隙形成一第一腔室，以使该压电致动器受驱动时，气体由该进气板的该至少一进气孔导入，经该至少一汇流排孔汇集至该中心凹部，再流经该共振片的该中空孔洞，以进入该第一腔室内，再由该压电致动器的该至少一支架之间的一空隙向下传输，以持续推出气体。

2.如权利要求1所述的微型流体控制装置，其特征在于，该操作频率为28k、操作电压为±15V，其最大输出气压达到至少300mmHg。

3.如权利要求1所述的微型流体控制装置，其特征在于，该压电陶瓷板的长度为6mm至8mm、宽度为6mm至8mm及厚度为0.10mm。

4.如权利要求1所述的微型流体控制装置，其特征在于，该悬浮板的长度为6mm至8mm、宽度为6mm至8mm及厚度为0.27mm。

5.如权利要求1所述的微型流体控制装置，其特征在于，该悬浮板更包括一凸部设置在该悬浮板的一第二表面上，其高度介于0.02mm至0.08mm之间。

6.如权利要求5所述的微型流体控制装置，其特征在于，该凸部的高度为0.03mm。

7.如权利要求5所述的微型流体控制装置，其特征在于，该凸部为一圆形凸起结构，直径为该悬浮板的最小边长的0.55倍的尺寸。

8.如权利要求1所述的微型流体控制装置，其特征在于，该进气板由一不锈钢材质所构成，厚度介于0.4mm至0.6mm之间。

9.如权利要求8所述的微型流体控制装置，其特征在于，该进气板的厚度为0.5mm。

10.如权利要求1所述的微型流体控制装置，其特征在于，该共振片由一铜材质所构成，厚度介于0.03mm至0.08mm之间。

11.如权利要求10所述的微型流体控制装置，其特征在于，该共振片的厚度为0.05mm。

12.如权利要求1所述的微型流体控制装置，其更包括至少一绝缘片及一导电片，且该至少一绝缘片及该导电片依序设置于该压电致动器之下。

13.如权利要求1所述的微型流体控制装置，其特征在于，该压电致动器的该外框由一不锈钢材质所构成，厚度介于0.2mm至0.4mm之间。

14.如权利要求13所述的微型流体控制装置，其特征在于，该压电致动器的该外框的厚度为0.3mm。

15.如权利要求1所述的微型流体控制装置，其特征在于，该压电致动器的该支架的两端点连接该外框、一端点连接该悬浮板。

16.一种微型流体控制装置，适用于一微型气压动力装置，包括：

一进气板；

一共振片；以及

一压电致动器；

其中，上述的该进气板、该共振片及该压电致动器依序对应堆叠设置定位，且该共振片与该压电致动器之间具有一间隙形成一第一腔室，该压电致动器受驱动时，气体由该进气板进入，流经该共振片，以进入该第一腔室内再传输气体。