[发明专利]一种MOM电容版图及其结构单元、建模方法

摘要

本发明提供一种MOM电容版图及其结构单元、建模方法，所述版图结构单元包括由按相同间距排布的多个相同长度的线条状金属层构成的主体区域，与所述主体区域邻接的两个端部区域，每个所述端部区域形成有与所述线条状金属层排布方向呈垂直关系的金属板，位于所述主体区域最外侧的金属层的一端连接所述金属板中的一个，位于所述主体区域最外侧的金属层的另一端的端部与所述金属板中的另一个的外侧壁平齐且不接触。所述MOM电容版图结构单元的电容值与所述MOM电容版图结构单元的主体区域面积呈正相关。根据本发明，通过所述MOM电容版图结构单元拼接的方法，实现无需长金属条条件下的电容扩展，方法简单且提取的模型参数少。

主权项

一种MOM电容版图结构单元，其特征在于，包括由按相同间距排布的多个相同长度的线条状金属层构成的主体区域，与所述主体区域邻接的两个端部区域，每个所述端部区域形成有与所述线条状金属层排布方向呈垂直关系的金属板；位于所述主体区域最外侧的金属层的一端连接所述金属板中的一个，位于所述主体区域最外侧的金属层的另一端的端部与所述金属板中的另一个的外侧壁平齐且不接触。