[发明专利]半导体制造设备中的消耗部件的磨损检测有效
| 申请号： | 201610701950.6 | 申请日： | 2016-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN106468541B | 公开（公告）日： | 2019-07-05 |
| 发明（设计）人： | 布雷特·C·理查森 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | G01B21/02 | 分类号： | G01B21/02;H01L21/304;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 李献忠;杨学春 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体制造设备中的消耗部件的磨损检测。方法、系统和计算机程序被提出以用于确定半导体处理装置中的消耗部件的磨损。一种室包括：基准部件、消耗部件、用于传送衬底到所述室内的传送臂、在所述传送臂上的传感器和控制器。所述基准部件在所述室的操作过程中不经受磨损，而所述消耗部件在所述室的操作过程中经受磨损。所述传感器被配置为当所述传送臂邻近所述消耗部件行进时测量从所述传感器到所述消耗部件的表面的第一距离，并且，所述传感器被配置为当所述传送臂邻近所述基准部件行进时测量从所述传感器到所述基准部件的表面的第二距离。所述控制器基于所述第一距离和第二距离来确定所述消耗部件的磨损量。 | ||
| 搜索关键词： | 消耗部件 传感器 基准部件 传送臂 磨损 半导体制造设备 操作过程 磨损检测 控制器 测量 邻近 行进 半导体处理装置 计算机程序 磨损量 衬底 配置 传送 室内 | ||
【主权项】：
1.一种用于处理衬底的室，该室包括：在室中的基准部件，所述基准部件在所述室的操作过程中不经受磨损；所述室中的消耗部件，所述消耗部件在所述室的操作过程中经受磨损；用于传送所述衬底到所述室内的传送臂；在所述传送臂上的传感器，其中所述传感器被配置为当所述传送臂沿着线性行进位置在所述消耗部件上方行进到所述室内时测量从所述传感器到所述消耗部件的表面的第一距离，其中所述传感器被配置为当所述传送臂沿着所述线性行进位置在所述基准部件上方行进时测量从所述传感器到所述基准部件的表面的第二距离；以及控制器，其被配置为基于所述第一距离和所述第二距离来确定所述消耗部件的磨损量。
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