[发明专利]一种太阳能热发电反射镜用SiO2-Ag-SiO2复合膜及其制备方法有效
| 申请号： | 201610634821.X | 申请日： | 2016-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN106399940B | 公开（公告）日： | 2018-12-11 |
| 发明（设计）人： | 李宏;贺慧婷 | 申请（专利权）人： | 武汉理工大学 |
| 主分类号： | C23C14/10 | 分类号： | C23C14/10;C23C14/18;C23C14/35;C03C17/36 |
| 代理公司： | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人： | 唐万荣 |
| 地址： | 430070 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及太阳能热发电反射镜用材料生产制造技术领域。一种太阳能热发电反射镜用SiO2‑Ag‑SiO2复合膜，其特征在于，它包含玻璃基板以及形成于玻璃基板上的膜层；膜层由过渡层、反射层和保护层构成，过渡层、反射层和保护层依次从玻璃基板的表面向外布置，过渡层、反射层、保护层均是通过射频磁控溅射法制得；所述的过渡层的材料为SiO2，厚度为20nm‑50nm；所述的反射层的材料为Ag，厚度为100nm‑200nm；所述的保护层的材料为SiO2，厚度为50nm‑150nm。该方法得到的复合膜具有高反射率、附着性良好以及户外使用寿命长的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 保护层 反射层 过渡层 太阳能热发电 玻璃基板 反射镜 复合膜 膜层 射频磁控溅射 材料生产 高反射率 户外使用 附着性 制备 制造 | ||
【主权项】：
1.一种太阳能热发电反射镜用SiO2‑Ag‑SiO2复合膜，其特征在于，它包含玻璃基板以及形成于玻璃基板上的膜层；膜层由过渡层、反射层和保护层构成，过渡层、反射层和保护层依次从玻璃基板的表面向外布置，过渡层、反射层、保护层均是通过射频磁控溅射法制得；所述的过渡层的材料为SiO2，厚度为20nm‑50nm；所述的反射层的材料为Ag，厚度为100nm‑200nm；所述的保护层的材料为SiO2，厚度为50nm‑150nm。
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