[发明专利]一种太阳能热发电反射镜用SiO2-Ag-SiO2复合膜及其制备方法

权利要求书

1.一种太阳能热发电反射镜用SiO₂-Ag-SiO₂复合膜，其特征在于，它包含玻璃基板以及形成于玻璃基板上的膜层；膜层由过渡层、反射层和保护层构成，过渡层、反射层和保护层依次从玻璃基板的表面向外布置，过渡层、反射层、保护层均是通过射频磁控溅射法制得；所述的过渡层的材料为SiO₂，厚度为20nm-50nm；所述的反射层的材料为Ag，厚度为100nm-200nm；所述的保护层的材料为SiO₂，厚度为50nm-150nm。

2.如权利要求1所述的一种太阳能热发电反射镜用SiO₂-Ag-SiO₂复合膜的制备方法，其特征在于包括以下步骤：

1)选取普通载玻片，用洗洁精多次清洗，洗掉表面的杂质然后用自来水冲刷干净，再放入去离子水中超声波清洗10-30min，最后放入无水乙醇中超声波清洗10-30min，得到玻璃基板；将清洗好的玻璃基板保存在无水乙醇中备用；

2)在玻璃基板上制备过渡层：方法是用射频磁控溅射沉积方式，SiO₂靶材尺寸为Φ76.2×5mm，纯度为99.999wt％，溅射气体为体积分数为99.999％的高纯氩，溅射室真空度为4.0×10^-4Pa，工作气压为0.5-1.5Pa，靶基距固定在60-100mm，氩流量为40sccm，溅射功率为100-200W，溅射时间为10-30min；在玻璃基板上得到一过渡层；

3)在过渡层上制备反射层：方法是用射频磁控溅射沉积方式，反射层的材料为银，银的靶材尺寸为Φ45×4mm，纯度为99.99wt％，溅射气体为体积分数为99.999％的高纯氩，溅射室真空度为4.0×10^-4Pa，工作气压为0.5-1.5Pa，靶基距固定在60-100mm，氩流量为40sccm，溅射功率为100-200W，溅射时间为10-30min；

4)在反射层上制备保护层：方法是用射频磁控溅射沉积方式，保护层的材料为SiO₂，靶材尺寸为Φ76.2×5mm，纯度为99.999wt％，溅射气体为体积分数为99.999％的高纯氩，溅射室真空度为4.0×10^-4Pa，工作气压为0.5-1.5Pa，靶基距固定在60-100mm，氩流量为40sccm，溅射功率为100-200W，溅射时间为20-40min；得到太阳能热发电反射镜用SiO₂-Ag-SiO₂复合膜。

3.根据权利要求2所述的一种太阳能热发电反射镜用SiO₂-Ag-SiO₂复合膜的制备方法，其特征在于：在步骤2)、3)、4)中，溅射前均需对靶材进行5分钟的预溅射。