[发明专利]一种晶圆片架的取放片装置

摘要

本发明提供一种晶圆片架的取放片装置，包括：固定器模块、控制模块和机械手臂，所述控制模块控制所述固定器模块的每一个定位槽的上升和下降，使定位槽从原位上升，卡持晶圆片架中对应的晶圆，并将对应的晶圆推送出所述晶圆片架，或使已上升的定位槽下降回原位，所述机械手臂根据所述控制模块的控制抓取或放回被所述定位槽推送出晶圆片架的晶圆。本发明的晶圆片架的取放片装置通过固定器模块将需要取出的晶圆从晶圆片架中推出，并可通过控制模块根据设定顺序取片，这样在取放片时机械手臂无阻挡，可避免传统取放片时机械手臂在多片晶圆间隙之间进行操作而造成的晶圆损伤，从而可提高生产良率。

主权项

1.一种晶圆片架的取放片装置，其特征在于，所述晶圆片架设有固定间距的承载部，平行竖直承载多片晶圆，与平行竖直承载的多片晶圆垂直的上侧设有第一开口，平行承载的多片晶圆通过所述第一开口竖直取出或放入，与所述第一开口正对的下侧设有第二开口，所述第二开口露出平行承载的多片晶圆的边缘，其中所述第一开口的最大宽度大于所述第二开口的最大宽度；所述晶圆片架的取放片装置包括：固定器模块，所述固定器模块位于所述晶圆片架下方，设有依据所述固定间距平行放置的多个定位槽，所述多个定位槽与所述晶圆片架平行竖直承载的多片晶圆的位置相对应；控制模块，所述控制模块控制所述固定器模块的每一个定位槽的上升和下降，使定位槽从原位上升，经过所述第二开口卡持对应的晶圆，并将对应的晶圆推送出所述第一开口，或使已上升的定位槽下降回原位；机械手臂，所述机械手臂根据所述控制模块的控制抓取或放回被所述定位槽推送出所述第一开口的晶圆。