[发明专利]一种复合抛光液有效
| 申请号： | 201610579870.8 | 申请日： | 2016-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN105950022B | 公开（公告）日： | 2018-07-03 |
| 发明（设计）人： | 陈兴建;曾贤高 | 申请（专利权）人： | 成都贝瑞光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 梁田 |
| 地址： | 610000 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种复合抛光液，解决现有技术中针对单晶硅、硒化锌、硫化锌、单晶锗等的抛光液不够环保，且需要在较强酸性环境下进行抛光进而影响抛光用设备的使用寿命的问题。本发明的抛光液包括2～4wt%的三氧化二铝、6～9wt%的二氧化硅、0.5～1.5wt%的氧化剂，其余为水。本发明具有绿色、环保等优点，且本发明能有效在弱酸性和碱性条件下去除元件表面麻点、道子，同时兼顾抛光效果和抛光效率。 | ||
| 搜索关键词： | 复合抛光液 抛光 抛光液 单晶硅 氧化剂 强酸性环境 三氧化二铝 二氧化硅 碱性条件 抛光效果 抛光效率 使用寿命 元件表面 单晶锗 硫化锌 弱酸性 硒化锌 麻点 环保 | ||
【主权项】：
1.一种复合抛光液，其特征在于，包括2～4wt％的三氧化二铝、6～9wt％的二氧化硅、0.5～1.5wt％的氧化剂，其余为水；所述氧化剂为氯酸盐或次氯酸盐；所述三氧化二铝的粒径为80～120nm；所述二氧化硅的粒径为15～25nm。
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