[发明专利]一种复合抛光液有效
| 申请号: | 201610579870.8 | 申请日: | 2016-07-22 |
| 公开(公告)号: | CN105950022B | 公开(公告)日: | 2018-07-03 |
| 发明(设计)人: | 陈兴建;曾贤高 | 申请(专利权)人: | 成都贝瑞光电科技股份有限公司 |
| 主分类号: | C09G1/02 | 分类号: | C09G1/02 |
| 代理公司: | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人: | 梁田 |
| 地址: | 610000 四川*** | 国省代码: | 四川;51 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 复合抛光液 抛光 抛光液 单晶硅 氧化剂 强酸性环境 三氧化二铝 二氧化硅 碱性条件 抛光效果 抛光效率 使用寿命 元件表面 单晶锗 硫化锌 弱酸性 硒化锌 麻点 环保 | ||
【说明书】:
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