[发明专利]插板阀控制真空度系统的控制方法

摘要

本发明公开了一种插板阀控制真空度系统的控制方法，包括真空腔室、PLC、真空规管和计算机，真空腔室的进气口和出气口分别设置有流量计和真空抽气机组，真空抽气机组与真空腔室之间的管路中设置有采用步进电机驱动的电动插板阀，真空规管与真空腔室内部连通，真空规管的检测信号输出端与PLC的真空度检测信号输入端连接，PLC与计算机通信连接，PLC的控制信号输出端与电动插板阀的电机控制信号输入端连接，通过真空规管循环检测真空腔室内的真空度，如果实际真空度与设定真空度差值不等于0，则采用电动插板阀控制出气量，如果实际真空度与设定真空度差值等于0，则说明真空度已经调节到了预设值。本发明控制精度高，可节约气体和减少废气排放。

主权项

1.一种插板阀控制真空度系统的控制方法，所述插板阀控制真空度系统包括真空腔室、PLC、真空规管和计算机，所述真空腔室的进气口和出气口分别设置有流量计和真空抽气机组，所述真空抽气机组与所述真空腔室之间的管路中设置有采用步进电机驱动的电动插板阀，所述真空规管的真空度检测口与所述真空腔室内部连通，所述真空规管的检测信号输出端与所述PLC的真空度检测信号输入端连接，所述PLC与所述计算机通信连接，所述PLC的控制信号输出端与所述电动插板阀的电机控制信号输入端连接，其特征在于，包括以下步骤：A1：设定真空度值，用户以指数形式在计算机上设定所需要的真空度值；A2：抽真空，向真空腔室内通入工艺气体，流量计处所显示的流量保持恒定，通过真空抽气机组将空腔室内的气体持续抽出；A3：真空度信息检测，利用真空规管检测真空腔室内的真空度信息并以模拟电压信号的形式传输给PLC；A4：真空度信息处理，PLC对模拟电压信号的真空度信息进行滤波和AD变换，并以数字信号的形式传输给计算机；A5：数字信号解码，计算机对数字真空度信号进行解码处理后以指数形式在显示器上显示出来；A6：真空度对比，计算机将所获取到的指数形式的当前真空度值与所设定的真空度值做对比，如果两个真空度值的差值等于0，则跳转至步骤A9，如果两个真空度值的差值不等于0，则继续执行步骤A7；A7：控制信息的计算，根据两个真空度值的差值计算出此时电动插板阀的步进电机需要移动的位移、方向和速度；A8：电动插板阀的控制，计算机将对电动插板阀的位移、方向和速度控制信息传输给PLC，PLC将控制信息转换为脉冲信号和方向信号并传递给电动插板阀的步进电机，电动插板阀在步进电机的作用下阀口大小开始变化，从而对真空腔室内的真空度进行调节，真空度调节后跳转至步骤A3；A9：整个真空度系统的进气量与出气量达到动态平衡，并维持该平衡。