[发明专利]插板阀控制真空度系统的控制方法有效
申请号: | 201610556740.2 | 申请日: | 2016-07-15 |
公开(公告)号: | CN106195391B | 公开(公告)日: | 2019-02-12 |
发明(设计)人: | 蒋冰霜;马宁;王小军;何吉刚;魏琼林;雷梁;冉从军 | 申请(专利权)人: | 成都中科唯实仪器有限责任公司 |
主分类号: | F16K31/04 | 分类号: | F16K31/04;G05B19/05 |
代理公司: | 北京天奇智新知识产权代理有限公司 11340 | 代理人: | 杨春 |
地址: | 610041 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 插板 控制 真空 系统 及其 方法 | ||
【说明书】:
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