[发明专利]一种高导热螺旋线慢波结构的制造方法有效
| 申请号： | 201610553164.6 | 申请日： | 2016-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN105977120B | 公开（公告）日： | 2018-01-02 |
| 发明（设计）人： | 蔡军;邬显平;李莉莉;冯进军;杜英华;潘攀 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十二研究所 |
| 主分类号： | H01J23/27 | 分类号： | H01J23/27 |
| 代理公司： | 北京正理专利代理有限公司11257 | 代理人： | 王喆,张文祎 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高导热螺旋线慢波结构的制造方法,包括如下步骤S1、将螺旋线涂光刻胶；S2、根据夹持杆的数量，去除螺旋线上与夹持杆接触区域的光刻胶；S3、对夹持杆内侧壁上与螺旋线接触面的有效接触区域实施图形金属化；S4、利用微电铸在螺旋线和夹持杆之间形成金属连接，得到螺旋线和夹持杆的复合结构；S5、去除螺旋线上的剩余光刻胶；S6、对管壳和上述已得到的螺旋线和夹持杆的复合结构进行夹持，连接管壳和夹持杆，得到高导热螺旋线慢波结构。本发明所提供的制造方法从根本上实现了螺旋线和图形金属化夹持杆的更大面积的有效连接，改善了螺旋线和夹持杆的导热能力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 导热 螺旋线 结构 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种高导热螺旋线慢波结构的制造方法,其特征在于，所述方法包括如下步骤：S1、将螺旋线涂光刻胶；S2、根据夹持杆的数量，去除螺旋线上与夹持杆接触区域的光刻胶；S3、对夹持杆内侧壁上与螺旋线接触面的有效接触区域实施图形金属化；S4、利用微电铸在螺旋线和夹持杆之间形成金属连接，得到螺旋线和夹持杆的复合结构；S5、去除螺旋线上的剩余光刻胶；S6、对管壳和上述已得到的螺旋线和夹持杆的复合结构进行夹持，连接管壳和夹持杆，得到高导热螺旋线慢波结构。
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