[发明专利]一种高导热螺旋线慢波结构的制造方法

权利要求书

1.一种高导热螺旋线慢波结构的制造方法,其特征在于，所述方法包括如下步骤：

S1、将螺旋线涂光刻胶；

S2、根据夹持杆的数量，去除螺旋线上与夹持杆接触区域的光刻胶；

S3、对夹持杆内侧壁上与螺旋线接触面的有效接触区域实施图形金属化；

S4、利用微电铸在螺旋线和夹持杆之间形成金属连接，得到螺旋线和夹持杆的复合结构；

S5、去除螺旋线上的剩余光刻胶；

S6、对管壳和上述已得到的螺旋线和夹持杆的复合结构进行夹持，连接管壳和夹持杆，得到高导热螺旋线慢波结构。

2.根据权利要求1所述的一种高导热螺旋线慢波结构的制造方法,其特征在于，所述步骤S2具体为：根据夹持杆的数量，利用多次曝光显影去除螺旋线上与夹持杆接触区域的光刻胶。

3.根据权利要求1所述的一种高导热螺旋线慢波结构的制造方法,其特征在于，所述步骤S3具体为：对夹持杆内侧壁上与螺旋线接触面的有效接触区域曝光光刻，并得到焊点图形；图形化后的上述有效接触区域金属化。

4.根据权利要求1所述的一种高导热螺旋线慢波结构的制造方法,其特征在于，所述步骤S4具体为：利用定位模具保证曝光显影后的螺旋线和图形金属化后的夹持杆的相对位置，利用微电铸在螺旋线和夹持杆之间形成金属连接，得到螺旋线和夹持杆的复合结构。