[发明专利]一种类金刚石纳米结构及其制备方法有效
| 申请号： | 201610543573.8 | 申请日： | 2016-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN106048524B | 公开（公告）日： | 2019-01-15 |
| 发明（设计）人： | 李韫慧;颜学庆 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/32;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 北京万象新悦知识产权代理有限公司 11360 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 100871*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种类金刚石纳米结构及其制备方法。本发明采用物理气相沉积方法在纳米孔模板中沉积形成类金刚石纳米纤维，随后对纳米孔模板进行化学刻蚀，从而暴露出类金刚石纳米纤维的顶端；随着纳米孔模板在化学刻蚀溶液中继续溶解，类金刚石纳米纤维以自发的方式弯曲，并紧密编织形成一层抗蚀掩膜，阻止纳米孔模板的进一步溶解；将表面覆盖有抗蚀掩膜的纳米复合结构放置在静电场中，抗蚀掩膜将在静电场力作用下脱离开表面，并在每一条类金刚石纳米纤维的顶端形成多条的类金刚石纳米须。采用上述方法制备的类金刚石纳米结构适合于在真空微电子学器件中用作场致电子发射材料。 | ||
| 搜索关键词： | 种类 金刚石 纳米 结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种类金刚石纳米结构，其特征在于，所述类金刚石纳米结构是一种类金刚石纳米纤维阵列，所述类金刚石纳米纤维阵列包括：纳米孔模板，所述纳米孔模板具有多个周期性均匀分布的纳米通孔；类金刚石纳米纤维，所述类金刚石纳米纤维为管状纤维，是采用物理气相沉积技术在每一个纳米通孔中沉积形成的，并且类金刚石纳米纤维的外表面与纳米孔模板的纳米通孔的内表面一致；所述物理气相沉积技术为磁过滤阴极真空弧沉积方法。
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