[发明专利]一种模块一体式多级多驱动腔部分非共轴干式真空单泵在审
| 申请号： | 201610530944.9 | 申请日： | 2016-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN106438365A | 公开（公告）日： | 2017-02-22 |
| 发明（设计）人： | 潇然;荣易 | 申请（专利权）人： | 上海伊莱茨真空技术有限公司;苏州伊莱茨流体装备有限公司;潇然 |
| 主分类号： | F04C25/02 | 分类号： | F04C25/02;F04C29/00;F04C29/04;F04C23/02 |
| 代理公司： | 上海世贸专利代理有限责任公司31128 | 代理人： | 李浩东 |
| 地址： | 201709 上海市青浦区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种模块一体式多级多驱动腔部分非共轴干式真空单泵，包括多个模块式真空驱动腔，其特征在于所述多个模块式真空驱动腔集成为一个整体单泵，所述多个模块式真空驱动腔串联连接形成多级真空单泵，所述多个真空驱动腔中至少有两个以非共轴的方式相联系，其中气体主流方向与转子驱动轴垂直，第一级真空驱动腔的入口直通大气。本发明的优点在于：由于多个真空驱动腔采用非共轴设计，使得各真空驱动腔的压缩比可以调节，可以做到在高真空环境下，压缩比大，而在粗真空环境下，压缩比小，从而可以兼顾安全与效率，达到优化可控，使每一级的压差分担和热量分担更加均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 模块 体式 多级 驱动 部分 非共轴干式 真空 | ||
【主权项】：
一种模块一体式多级多驱动腔部分非共轴干式真空单泵，包括多个模块式真空驱动腔，其特征在于所述多个模块式真空驱动腔集成为一个整体单泵，所述多个模块式真空驱动腔串联连接形成多级真空单泵，所述多个真空驱动腔中至少有两个以非共轴的方式相联系，其中气体主流方向与转子驱动轴垂直，第一级真空驱动腔的入口直通大气。
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