[发明专利]一种模块一体式多级多驱动腔部分非共轴干式真空单泵在审
| 申请号： | 201610530944.9 | 申请日： | 2016-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN106438365A | 公开（公告）日： | 2017-02-22 |
| 发明（设计）人： | 潇然;荣易 | 申请（专利权）人： | 上海伊莱茨真空技术有限公司;苏州伊莱茨流体装备有限公司;潇然 |
| 主分类号： | F04C25/02 | 分类号： | F04C25/02;F04C29/00;F04C29/04;F04C23/02 |
| 代理公司： | 上海世贸专利代理有限责任公司31128 | 代理人： | 李浩东 |
| 地址： | 201709 上海市青浦区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 模块 体式 多级 驱动 部分 非共轴干式 真空 | ||
【说明书】：
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