[发明专利]一种基于白光干涉标定PZT位移量的方法

摘要

本发明公开了一种基于白光干涉标定PZT位移量的方法，涉及光干涉测量领域，方法步骤为：首先，搭建基于白光干涉标定PZT位移量的方法的实验装置：使PZT的顶面与靠体的顶面构成台阶面；其次调谐可调电压源，改变PZT两端的输入电压，通过白光干涉仪测量不同电压值处的台阶高，该电压值处的台阶高与0V电压处台阶高的差值，即是PZT对应的位移量；进而得到电压上升和回程中PZT的动态位移曲线，达到标定PZT位移量的目的。该方法精度较高、操作方便、结构简单、实时性好，且成本低。

主权项

一种基于白光干涉标定PZT位移量的方法，其特征在于，步骤如下：步骤一：搭建基于白光干涉标定PZT位移量的方法的实验装置：将PZT(2)和靠体(4)均固定在刚性台面(3)上，刚性台面(3)设置在白光干涉仪(1)的载物台(8)上，PZT(2)设置在靠体(4)的一侧，且两者顶面构成台阶面(6)；PZT(2)电源引出端接0‑200V的可调电源(7)，白光干涉仪(1)的物镜设置在台阶面(6)的正上方；计算机(5)与白光干涉仪(1)连接；步骤二：缓慢向下移动白光干涉仪(1)的物镜，分别寻找靠体(4)顶面和PZT(2)顶面的最佳共焦面位置，进行测试参数设置；步骤三：调节可调电源(7)的电压，0‑150V之间时，每隔15V测量台阶面(6)的台阶高，所述PZT(2)位移量i＝1,2,3…10，其中，h0表示电压为0V时对应的台阶高，表示电压为15V倍数时对应的台阶高，i为测量间隔；步骤四：在电压回程中，每隔15V，测量台阶面(6)的台阶高，所述PZT位移量i′＝9,8,7…1,0,其中，表示电压为15V倍数时对应的台阶高，i′为测量间隔。