[发明专利]一种基于白光干涉标定PZT位移量的方法在审
| 申请号： | 201610528812.2 | 申请日： | 2016-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN106225679A | 公开（公告）日： | 2016-12-14 |
| 发明（设计）人： | 马骏;王朕;朱日宏 | 申请（专利权）人： | 南京理工大学 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心32203 | 代理人： | 朱沉雁 |
| 地址： | 210094 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 白光 干涉 标定 pzt 位移 方法 | ||
【说明书】：
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