[发明专利]一种用于气相沉积镀膜的掩膜夹具有效
| 申请号： | 201610522031.2 | 申请日： | 2016-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN105908124B | 公开（公告）日： | 2018-06-26 |
| 发明（设计）人： | 冯斌;李东滨;王德苗;金浩 | 申请（专利权）人： | 浙江大学昆山创新中心 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C16/04 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于气相沉积镀膜的掩膜夹具，包括上掩膜板、下掩膜板和被上下掩膜板夹于中间的弹性板；所述上掩膜板和下掩膜板上均设置有所需镀膜形状的掩膜开孔、第一紧固孔、第一定位孔；所述弹性板上设置有弹性机构、与上掩膜板和下掩膜板配合使用的第二紧固孔和第二定位孔；所述弹性机构包括第一半岛形结构和第二半岛形结构，第一半岛形结构和第二半岛形结构的形状为任意互补配合的几何形状，并分别向弹性机构平面的上下面翘起。本发明可以低成本地实现样品的一个需镀膜表面与掩膜板掩膜开孔边缘紧贴，以防止气相沉积过程中沉积粒子进入不需要镀膜的遮掩部分，从而提高镀膜产品的品质。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜板 半岛形 镀膜 掩膜 弹性机构 气相沉积 夹具 弹性板 定位孔 紧固孔 镀膜表面 镀膜产品 开孔边缘 低成本 平面的 开孔 翘起 沉积 紧贴 粒子 遮掩 配合 | ||
【主权项】：
1.一种用于气相沉积镀膜的掩膜夹具，其特征在于：包括上掩膜板、下掩膜板和被上下掩膜板夹于中间的弹性板；所述上掩膜板和下掩膜板上均设置有所需镀膜形状的掩膜开孔、第一紧固孔、第一定位孔；所述弹性板上设置有多个弹性机构、与上掩膜板和下掩膜板配合使用的第二紧固孔和第二定位孔；所述弹性机构的水平截面面积与掩膜开孔的水平截面面积相同，包括第一半岛形结构和第二半岛形结构，第一半岛形结构和第二半岛形结构的形状为任意互补配合的几何形状，并分别向弹性机构平面的上下面翘起；所述弹性机构的个数与掩膜开孔的个数相同，二者的位置相配合；所述第一半岛形结构和第二半岛形结构由腐蚀、光刻、机械雕、冲压中的其中任一种工艺制备而成。
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