[发明专利]一种用于气相沉积镀膜的掩膜夹具有效
| 申请号： | 201610522031.2 | 申请日： | 2016-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN105908124B | 公开（公告）日： | 2018-06-26 |
| 发明（设计）人： | 冯斌;李东滨;王德苗;金浩 | 申请（专利权）人： | 浙江大学昆山创新中心 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C16/04 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 掩膜板 半岛形 镀膜 掩膜 弹性机构 气相沉积 夹具 弹性板 定位孔 紧固孔 镀膜表面 镀膜产品 开孔边缘 低成本 平面的 开孔 翘起 沉积 紧贴 粒子 遮掩 配合 | ||
【说明书】：
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