[发明专利]一种湿法黑硅制备方法有效
申请号: | 201610439281.X | 申请日: | 2016-06-17 |
公开(公告)号: | CN106098840B | 公开(公告)日: | 2017-09-22 |
发明(设计)人: | 韩冰;丁晓辉;韩庚欣;徐涛 | 申请(专利权)人: | 湖洲三峰能源科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 南京苏创专利代理事务所(普通合伙)32273 | 代理人: | 沈振涛 |
地址: | 313016 浙江省湖州市南*** | 国省代码: | 浙江;33 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供了一种湿法黑硅制备方法,包括以下步骤将硅片浸入含添加剂的碱溶液中,对硅片抛光,以去除硅片表面损伤层;将抛光后的硅片浸入金属离子溶液中,使金属离子附着在硅片上;将附着金属离子的硅片浸入浓氢氟酸和氧化剂的混合溶液中反应,得黑硅;将黑硅浸入含添加剂或缓释剂的混合酸溶液中,即得绒面均匀的亚微米结构绒面的硅片。该方法工艺简单,制得的硅片的反射率在7‑15%,具有较低的反射率,大大提高了硅电池对光的吸收效率,从而提高了太阳能电池的转换效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 湿法 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种湿法黑硅制备方法,其特征在于:包括以下步骤:(1)将硅片浸入含添加剂的碱溶液中,对硅片抛光,以去除硅片表面损伤层;所述碱为氢氧化钠或氢氧化钾,碱溶液的质量百分比浓度为0.5‑5%;添加剂的添加量为碱溶液质量的0.5‑5%;抛光时间为60‑300秒,抛光温度为50‑95℃;(2)将抛光后的硅片浸入金属离子溶液中,使金属离子附着在硅片上;金属离子为金离子、铂离子、钯离子、铜离子、镍离子和钴离子的任意两种的组合;金属离子溶液的浓度为0.00001–0.05mol/L;附着过程中,还加入浓氢氟酸和分子量5000‑20000的高分子聚合物,所述高分子聚合物的浓度为5‑50 ppm,所述浓氢氟酸的质量百分比浓度为0.1‑3.0%wt;附着时间为15‑300秒;(3)将附着金属离子的硅片浸入浓氢氟酸和氧化剂的混合溶液中反应,得黑硅;所述氧化剂选自O3、CO2、K2Cr2O7、CrO3、KIO3、KBrO3、NaNO3、HNO3,KMnO4的一种或几种的组合;所述浓氢氟酸与氧化剂的摩尔比为7:1‑ 1:5;反应时间为15‑300秒,反应温度为10‑50oC;(4)将黑硅浸入含添加剂或缓释剂的混合酸溶液中,即得绒面均匀的亚微米结构绒面的硅片;所述混合酸溶液为质量比1:2:7‑1:9:20的浓氢氟酸、浓硝酸和水的混合,所述浓氢氟酸为质量百分比浓度49%的氢氟酸,所述浓硝酸为质量百分比浓度69%的硝酸;所述添加剂或缓释剂的添加量为混合酸溶液的1‑3%;制绒时间为15‑300秒;其中,所述添加剂包含的组分为:重量百分比为 0.05‑1%的蛋白质,重量百分比为 0.01‑1%的洗涤剂,重量百分比为0.001%‑0.003%的维生素、阿胶、茶多酚中取一种或它们的组合以及余量的水,所述蛋白质是从含蛋白质 85%以上的食用蛋白粉或者食品发泡剂中选取一种或它们的组合;其中,所述缓释剂包括重量百分数为0.0001‑75%的表面催化剂,及余量的水。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于湖洲三峰能源科技有限公司,未经湖洲三峰能源科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201610439281.X/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的