[发明专利]一种防静电曝光机系统及其制造方法有效
| 申请号： | 201610386293.0 | 申请日： | 2016-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN105867073B | 公开（公告）日： | 2019-03-19 |
| 发明（设计）人： | 何忠亮;朱争鸣;叶文 | 申请（专利权）人： | 深圳市柯士达光电有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518125 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种防静电曝光机系统，其在曝光机上下框使用具备导电能力的麦拉膜，机身设计了导电通道可以将产生的静电通过通道接地释放，避免曝光过程中曝光台面、麦拉膜与菲林之间摩擦产生静电，杜绝静电吸附灰尘导致开短路及静电导致抽真空不良的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 静电 曝光 系统 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种防静电曝光机系统，包括曝光机身、曝光框、工作台面，其特征在于，所述工作台面包括曝光玻璃面、上下麦拉、上下曝光菲林、上下菲林保护膜、涂覆上下感光材料的PCB板及其上下感光材料保护膜；其中，所述曝光玻璃面、上下麦拉、上下曝光菲林、上下菲林保护膜、涂覆上下感光材料的PCB板及其上下感光材料保护膜，在曝光过程中因摩擦、接触产生静电的界面材料，在每两相接触的界面材料中，至少有一面使用导电性的材料或涂层，导电材料和涂层均有接地通路；所述麦拉表面具备导电性，所述曝光机身设计有静电释放的接地通道，所述曝光框上设计有导电通道，将工作台面的静电通过导电的麦拉、曝光框、曝光机身与接地通道，接地释放。
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