[发明专利]一种防静电曝光机系统及其制造方法有效
| 申请号： | 201610386293.0 | 申请日： | 2016-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN105867073B | 公开（公告）日： | 2019-03-19 |
| 发明（设计）人： | 何忠亮;朱争鸣;叶文 | 申请（专利权）人： | 深圳市柯士达光电有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518125 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 静电 曝光 系统 及其 制造 方法 | ||
【说明书】：
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