[发明专利]一种拼接光栅拼接误差检测系统及拼接误差校正方法

摘要

本申请公开了一种拼接光栅拼接误差检测系统及拼接误差校正方法，所述拼接光栅拼接误差检测系统包括干涉仪、棱镜、第一反射部和第二反射部；所述拼接光栅拼接误差检测系统利用干涉仪和棱镜实现了向所述待检测光栅发送两束不同入射角的入射光线(第二检测光和第三检测光)的目的，这两束入射光线在经过待检测光栅的反射后分别被所述第一反射部和第二反射部反射，并返回所述干涉仪形成第一零级干涉条纹、第二零级干涉条纹和非零级干涉条纹，以为所述待检测光栅的拼接误差校正提供校正数据，进而实现了仅采用干涉检测实现对拼接光栅的拼接误差检测。并且所述拼接光栅拼接误差检测系统的光路设计简单，便于实际操作，简化拼接误差的检测光路。

主权项

一种拼接光栅拼接误差检测系统，其特征在于，包括：干涉仪、棱镜、第一反射部和第二反射部；其中，所述干涉仪用于向待检测光栅发送第一检测光；所述棱镜设置于所述干涉仪与待检测光栅之间，用于改变部分所述第一检测光的传播方向，获得第二检测光，未经过所述棱镜的第一检测光称为第三检测光；所述第一反射部用于反射经所述待检测光栅反射的第三检测光，以在所述干涉仪内形成第一零级干涉条纹或非零级干涉条纹；所述第二反射部用于反射经所述待检测光栅反射的第二检测光，以在所述干涉仪内形成第二零级干涉条纹。