[发明专利]一种拼接光栅拼接误差检测系统及拼接误差校正方法

权利要求书

1.一种拼接光栅拼接误差检测系统，其特征在于，包括：干涉仪、棱镜、第一反射部和第二反射部；其中，

所述干涉仪用于向待检测光栅发送第一检测光；

所述棱镜设置于所述干涉仪与待检测光栅之间，用于改变部分所述第一检测光的传播方向，获得第二检测光，未经过所述棱镜的第一检测光称为第三检测光；

所述第一反射部用于反射经所述待检测光栅反射的第三检测光，以在所述干涉仪内形成第一零级干涉条纹或非零级干涉条纹；

所述第二反射部用于反射经所述待检测光栅反射的第二检测光，以在所述干涉仪内形成第二零级干涉条纹。

2.根据权利要求1所述的拼接光栅拼接误差检测系统，其特征在于，所述第一反射部为第一反射镜；

所述第一反射镜处于第一预设位置时用于反射经所述待检测光栅反射的第三检测光中的零级反射光，以在所述干涉仪内形成第一零级干涉条纹；

所述第一反射部处于第二预设位置时用于反射经所述待检测光栅反射的第三检测光中的非零级反射光，以在所述干涉仪内形成非零级干涉条纹。

3.根据权利要求1所述的拼接光栅拼接误差检测系统，其特征在于，所述第一反射部包括第二反射镜和第三反射镜；

所述第二反射镜位于第一预设位置，用于反射经所述待检测光栅反射的第三检测光中的零级反射光，以在所述干涉仪内形成第一零级干涉条纹；

所述第三反射镜处于第二预设位置，用于反射经所述待检测光栅反射的第三检测光中的非零级反射光，以在所述干涉仪内形成非零级干涉条纹。

4.根据权利要求1所述的拼接光栅拼接误差检测系统，其特征在于，所述第二反射部包括第四反射镜和第五反射镜；

所述第四反射镜用于反射经所述待检测光栅反射的第二检测光，使其向所述第五反射镜传播；

所述第五反射镜用于反射经所述第四反射镜反射的第二检测光，以在所述干涉仪内形成第二零级干涉条纹。

5.根据权利要求1-4任一项所述的拼接光栅拼接误差检测系统，其特征在于，所述棱镜为玻璃棱镜或水晶棱镜。

6.一种拼接光栅拼接误差校正方法，其特征在于，应用于权利要求1-5任一项所述的拼接光栅拼接误差检测系统；所述方法包括：

利用所述干涉仪向待检测光栅发送第一检测光，所述第一检测光经过所述棱镜获得第二检测光，未经过所述棱镜的第一检测光称为第三检测光；

利用所述第一反射部反射经所述待检测光栅反射的第三检测光中的零级反射光，在所述干涉仪内获得第一零级干涉条纹；

调整所述第一反射部所在位置，使所述第一反射部反射经所述待检测光栅反射的第三检测光中的非零级反射光，在所述干涉仪内获得非零级干涉条纹；

利用所述第二反射部反射经所述待检测光栅反射的第二检测光，在所述干涉仪内获得第二零级干涉条纹；

根据所述第一零级干涉条纹、第二零级干涉条纹及非零级干涉条纹校正待检测光栅，以消除所述待检测光栅的拼接误差。

7.根据权利要求6所述的拼接光栅拼接误差校正方法，其特征在于，根据所述第一零级干涉条纹、第二零级干涉条纹及非零级干涉条纹校正待检测光栅包括：

根据所述第一零级干涉条纹和第二零级干涉条纹，校正所述待检测光栅，使构成所述待检测光栅的至少两块子光栅共面；

根据所述非零级干涉条纹校正所述待检测光栅，使构成所述待检测光栅的至少两块子光栅的刻线方向平行且拼接缝隙为预设值。

8.根据权利要求7所述的拼接光栅拼接误差校正方法，其特征在于，根据所述第一零级干涉条纹、第二零级干涉条纹及非零级干涉条纹校正待检测光栅包括：

根据所述第一零级干涉条纹和第二零级干涉条纹，校正所述待检测光栅，消除所述待检测光栅的矢量方向角度误差、刻线方向角度误差以及垂直光栅平面方向平移误差，以使构成所述待检测光栅的至少两块子光栅共面；

根据所述非零级干涉条纹校正所述待检测光栅，消除所述待检测光栅的矢量方向平移误差以及垂直光栅平面方向角度误差，以使构成所述待检测光栅的至少两块子光栅的刻线方向平行且拼接缝隙为预设值。

9.根据权利要求7或8所述的拼接光栅拼接误差校正方法，其特征在于，所述预设值为所述待检测光栅的光栅常数的正整数倍。