[发明专利]柔性热丝CVD金刚石涂层装备及方法

摘要

本发明提供了一种柔性热丝CVD金刚石涂层装备及方法，包括组合式电极系统、固定式水冷真空反应室、恒压电源系统、集成式气体控制系统和可移动基体平台；其中，组合式电极系统设置在可移动基体平台上；可移动基体平台驱动组合式电极系统进入固定式水冷真空反应室内或将组合式电极系统从固定式水冷真空反应室内移出；集成式气体控制系统用于向固定式水冷真空反应室输入反应气体；恒压电源系统用于向集成式气体控制系统、可移动基体平台提供电能。本发明中可移动基体平台扩展了涂层基体安装和热丝布置的操作空间，为金刚石涂层沉积过程基体温度的可控分布提供了可靠结构，同时避免了采用真空动密封易导致气密性差的问题。

主权项

1.一种柔性热丝CVD金刚石涂层装备，其特征在于，包括组合式电极系统(100)、固定式水冷真空反应室(200)、恒压电源系统(300)、集成式气体控制系统(400)和可移动基体平台(500)；其中，所述组合式电极系统(100)设置在所述可移动基体平台(500)上；所述可移动基体平台(500)驱动所述组合式电极系统(100)进入所述固定式水冷真空反应室(200)内或将所述组合式电极系统(100)从所述固定式水冷真空反应室(200)内移出；所述集成式气体控制系统(400)用于向所述固定式水冷真空反应室(200)输入反应气体；所述恒压电源系统(300)用于向所述集成式气体控制系统(400)、可移动基体平台(500)提供电能；所述的组合式电极系统(100)包括电极柱(1)、电极压板(2)、电极杆(3)、电极套筒(4)以及热丝张紧结构(5)；其中，所述电极柱(1)的数量为两组，每组电极柱(1)包括两个依次设置的电极柱(1)；两组电极柱(1)设置在可移动基体平台(500)上；一组的两个电极柱(1)之间设置有一电极杆(3)；另一组的两个电极柱(1)之间设置有另一电极杆(3)上，另一电极杆(3)上依次设置有多个电极压板(2)；一电极杆(3)上设置有多个依次排列的电极套筒(4)；所述热丝张紧结构(5)设置在所述电极杆(3)的外侧；所述可移动基体平台(500)包括水冷平台(6)、法兰板组件(7)和导轨槽(10)；其中，所述法兰板组件(7)的下端设置有所述导轨槽(10)上；所述水冷平台(6)设置在所述法兰板组件(7)上；所述法兰板组件(7)用于可移动基体平台与固定式水冷真空反应室的密封；两组电极柱(1)设置在所述水冷平台(6)上；所述水冷平台(6)设置有通过循环管道连通的冷却水进口管(103)和冷却出口管(104)。