[发明专利]一种在D形光纤中嵌入微环谐振腔的方法在审
| 申请号： | 201610324885.X | 申请日： | 2016-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN105759363A | 公开（公告）日： | 2016-07-13 |
| 发明（设计）人： | 闫海涛;张超;赵晓艳;甄志强;夏立新 | 申请（专利权）人： | 河南科技大学 |
| 主分类号： | G02B6/293 | 分类号： | G02B6/293 |
| 代理公司： | 洛阳公信知识产权事务所(普通合伙) 41120 | 代理人： | 罗民健 |
| 地址： | 471000 河*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 一种在D形光纤中嵌入微环谐振腔的方法，包括如下步骤：（1）将D形光纤的曲面部分固定，D形光纤的平面部分涂上光刻胶并烘干；（2）将（1）得到的D形光纤装在光刻机上，通过掩膜板对D形光纤的平面部分进行曝光，曝光位置为D形光纤平面部分的中线位置；（3）将（2）得到的D形光纤用干燥机加热后，浸入丙酮中显影以除去曝光位置的光刻胶，使D形光纤平面部分的中线位置标记有掩膜板上的图案；（4）对（3）得到的D形光纤采用聚焦离子刻蚀方法，在其平面部分刻蚀一个微环谐振腔或多个级联的微环谐振腔，所述微环谐振腔的圆心位于平面部分的中线位置。本发明直接将微环谐振腔集成在D形光纤的平面部分，集成度高，传输信号带宽平坦。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光纤 嵌入 谐振腔 方法 | ||
【主权项】：
一种在D形光纤中嵌入微环谐振腔的方法，其特征在于，包括如下步骤：（1）将D形光纤的曲面部分固定，D形光纤的平面部分涂上光刻胶并烘干；（2）将步骤（1）得到的D形光纤装在光刻机上，光刻机上还装有掩膜板，该掩膜板刻有用于定位D形光纤的平面部分中线位置的图案，通过掩膜板对D形光纤的平面部分进行曝光，曝光位置为D形光纤平面部分的中线位置，使中线位置的光刻胶发生光化反应；（3）将步骤（2）得到的D形光纤用干燥机加热后，浸入丙酮中显影以除去曝光位置的光刻胶，使D形光纤平面部分的中线位置标记有掩膜板上的图案；（4）对步骤（3）得到的D形光纤采用聚焦离子刻蚀方法，在其平面部分刻蚀一个微环谐振腔或多个级联的微环谐振腔，所述微环谐振腔的圆心位于D形光纤平面部分的中线位置。
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