[发明专利]一种透射式单元探测器成像及电性参数测试系统有效
| 申请号： | 201610322200.8 | 申请日： | 2016-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN105866589B | 公开（公告）日： | 2019-06-04 |
| 发明（设计）人： | 刘磊;江升;韩顺利;闫继送;刘加庆;吕子敬 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十一研究所 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00;G01M11/02 |
| 代理公司： | 济南舜源专利事务所有限公司 37205 | 代理人： | 王连君 |
| 地址： | 266555 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种透射式单元探测器成像及电性参数测试系统，包括屏蔽罩和上位机，屏蔽罩内设置有空间光源，空间光源的下方设置有载物台，载物台的下方设置有旋转平台，旋转平台上安装有镜头，旋转平台的下方设置有三维扫描平台，三维扫描平台上连接有探测器，探测器上连接有准直器。本发明采用三维扫描阵列，在Z轴方向完成对探测器的调焦操作，利用X轴和Y轴完成对二维平面的成像扫描过程，控制简单，成本低，并可以完成定焦位置实时校准工作；同时本系统可以利用简单的功率可调的透射式光路完成单元探测器参数的测试，包括暗电流、响应度、击穿电压等探测器性能参数测试。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 透射 单元 探测器 成像 参数 测试 系统 | ||
【主权项】：
1.一种透射式单元探测器成像及电性参数测试系统，其特征在于，包括屏蔽罩和上位机，所述屏蔽罩内设置有空间光源，空间光源的下方设置有载物台，载物台的下方设置有旋转平台，旋转平台上安装有镜头，所述旋转平台的下方设置有三维扫描平台，所述三维扫描平台上连接有探测器，探测器上连接有准直器；所述屏蔽罩上开设有光纤光源接口、电源接口和USB通信接口，所述光纤光源接口连接有光纤光路，所述光纤光路依次与载物台和旋转平台相连，所述三维扫描平台通过USB通信接口与上位机之间通信连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国电子科技集团公司第四十一研究所，未经中国电子科技集团公司第四十一研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610322200.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
