[发明专利]一种红外光敏二极管及其制备方法

摘要

本发明公开了一种红外光敏二极管，包括硅衬底、第一陶瓷纤维层、第一电阻薄膜层、硫化锌层、碲镉汞层、第二电阻薄膜层、第二陶瓷纤维层、第一钝化保护层、第一电极、第二电极。第一电极的电极连接部依次穿过所述第一钝化保护层、所述第二陶瓷纤维层、所述碲镉汞层、所述硫化锌层与所述第一电阻薄膜层连接，所述第二电极的电极连接部依次穿过所述第一钝化保护层、所述第二陶瓷纤维层与所述第二电阻薄膜层连接。本发明的红外光敏二极管的制备方法结合了传统硅基技术上的大规模集成电路制造、以及先进的红外探测器原理，该红外二极管集成度高、加工成本低、稳定性好、工艺可靠性好。

主权项

一种红外光敏二极管，其特征在于，包括：硅衬底(10)、第一陶瓷纤维层(11)、第一电阻薄膜层(12)、硫化锌层(13)、碲镉汞层(14)、第二电阻薄膜层(15)、第二陶瓷纤维层(16)、第一钝化保护层(17)、第一电极(18)、第二电极(19)；所述第一陶瓷纤维层(11)设置在所述硅衬底(10)的表面，所述第一陶瓷纤维层(11)的表面并列设置有所述第一电阻薄膜层(12)和所述硫化锌层(13)，所述硫化锌层(13)的表面设置有所述碲镉汞层(14)，所述碲镉汞层(14)的表面并列设置有所述第二陶瓷纤维层(16)和所述第二电阻薄膜层(15)，所述第二陶瓷纤维层(16)的上方设置有所述第一钝化保护层(17)，所述第一电极(18)的电极连接部(1801)依次穿过所述第一钝化保护层(17)、所述第二陶瓷纤维层(16)、所述碲镉汞层(14)、所述硫化锌层(13)与所述第一电阻薄膜层(12)连接，所述第二电极(19)的电极连接部(1901)依次穿过所述第一钝化保护层(17)、所述第二陶瓷纤维层(16)与所述第二电阻薄膜层(15)连接，所述第一电极(18)的电极连接部(1801)和所述第二电极(19)的电极连接部(1901)外部均包覆有竖直方向的第二钝化保护层(20)。