[发明专利]用于MEMS换能器的系统和方法有效
| 申请号： | 201610287129.4 | 申请日： | 2016-05-03 |
| 公开（公告）号： | CN106289386B | 公开（公告）日： | 2018-12-07 |
| 发明（设计）人： | V·K·拉贾拉曼;Y·阿纳恩蒂古;A·德厄;S·科尔布 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01D21/02 | 分类号： | G01D21/02;G01N27/12;G01N27/22 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 郑立柱 |
| 地址： | 德国诺伊*** | 国省代码： | 德国;DE |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及用于MEMS换能器的系统和方法。根据实施例，一种微机电系统(MEMS)换能器包括具有第一腔体的衬底，第一腔体从衬底后侧穿过衬底。MEMS换能器还包括：在衬底的上侧覆盖第一腔体的穿孔的第一电极板；在衬底的上侧覆盖第一腔体的穿孔并且通过间隔区域与穿孔的第一电极板间隔开的第二电极板；以及在穿孔的第一电极板与第二电极板之间的间隔区域中的气敏材料。气敏材料具有取决于目标气体的浓度的电气性质。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 mems 换能器 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种微机电系统MEMS换能器，包括：衬底，包括从所述衬底的后侧穿过所述衬底的第一腔体；穿孔的第一电极板，在所述衬底的上侧覆盖所述第一腔体；第二电极板，在所述衬底的上侧覆盖所述第一腔体并且通过间隔区域与所述穿孔的第一电极板间隔开；在所述穿孔的第一电极板与所述第二电极板之间的所述间隔区域中的气敏材料，其中所述气敏材料具有取决于目标气体的浓度的电气性质；以及集成在所述衬底上的MEMS声学换能器，其中所述MEMS声学换能器包括：在所述衬底中覆盖第二腔体的穿孔的背板；以及覆盖所述第二腔体并且与所述穿孔的背板间隔开的可偏转隔膜。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于英飞凌科技股份有限公司，未经英飞凌科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610287129.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种多功能传感器
- 下一篇：一种地质环境监测系统
