[发明专利]用于MEMS换能器的系统和方法有效
| 申请号： | 201610287129.4 | 申请日： | 2016-05-03 |
| 公开（公告）号： | CN106289386B | 公开（公告）日： | 2018-12-07 |
| 发明（设计）人： | V·K·拉贾拉曼;Y·阿纳恩蒂古;A·德厄;S·科尔布 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01D21/02 | 分类号： | G01D21/02;G01N27/12;G01N27/22 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 郑立柱 |
| 地址： | 德国诺伊*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 mems 换能器 系统 方法 | ||
【说明书】：
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