[发明专利]阵列基板、液晶显示面板及阵列基板制作方法有效
申请号: | 201610284066.7 | 申请日: | 2016-04-29 |
公开(公告)号: | CN105789222B | 公开(公告)日: | 2018-11-06 |
发明(设计)人: | 王质武 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;G02F1/1362;G02F1/1368;G02F1/1333;H01L21/77 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 郝传鑫;熊永强 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明涉及一种阵列基板、液晶显示面板及阵列基板制作方法,所述阵列基板包括依次层叠设置的基板、栅极、栅极绝缘层和有源层,所述有源层包括源极转接部和与所述源极转接部相隔离的漏极转接部,以及一体连接于所述源极转接部和所述漏极转接部的沟道。所述有源层包括源极转接部和与所述源极转接部相隔离的漏极转接部,以及一体连接于所述源极转接部和所述漏极转接部的沟道,从而源极转接保护和漏极转接部与沟道形成一体结构,即源极转接部和漏极转接部与沟道之间接触电阻减小,并且沟道的界面缺陷减少,从而使得液晶显示面板中薄膜晶体管经源极转接部和漏极转接部的开态电流增大且关态电流减小,即开关比提高,从而提高所述阵列基板的性能。 | ||
搜索关键词: | 阵列 液晶显示 面板 制作方法 | ||
【主权项】:
1.一种阵列基板,其特征在于,所述阵列基板包括依次层叠设置的基板、栅极、栅极绝缘层和有源层,所述有源层包括源极转接部和与所述源极转接部相隔离的漏极转接部,以及一体连接于所述源极转接部和所述漏极转接部的沟道,至少部分所述源极转接部内嵌于所述沟道,且至少部分所述漏极转接部内嵌于所述沟道,所述源极转接部和所述漏极转接部采用第一预设温度下加工成型,所述沟道采用第二预设温度下加工成型,所述第一预设温度高于所述第二预设温度。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
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H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
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H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的