[发明专利]一种砂浆切割大尺寸碳化硅体的方法

摘要

本发明公开了一种砂浆切割大尺寸碳化硅体的方法，该方法包括如下步骤1）选用粒径在2‑8微米的金刚石颗粒与冷却液混合成砂浆，其中，金刚石颗粒的质量占砂浆总质量的3‑50%，砂浆的粘度在0.1‑0.6dpa.s；2）将砂浆倒入池中，直径在6英寸以上的碳化硅单晶体浸入砂浆中，利用装有切割线的切割设备对碳化硅单晶进行切割。本发明的方法利用切割线，在混有金刚石颗粒的砂浆池中对碳化硅单晶体进行切割，砂浆中的金刚石颗粒粒径更小，晶体损耗更少，切割效率更高。

主权项

一种砂浆切割大尺寸碳化硅体的方法，其特征在于，该方法包括如下步骤：1）选用粒径在2‑8微米的金刚石颗粒与冷却液混合成砂浆，其中，金刚石颗粒的质量占砂浆总质量的3‑50%，砂浆的粘度在0.1‑0.6dpa.s；2）将砂浆倒入池中，直径在6英寸以上的碳化硅单晶体浸入砂浆中，利用装有切割线的切割设备对碳化硅单晶进行切割；在所述步骤2）切割的同时，由超声波发生设备对所述砂浆进行震动，超声频率在20KHz至90KHz；所述切割设备采用变速切割的方式，平均切割速度为0.5‑1.5毫米/小时；所述切割设备的切割供线速度：（0.2‑1）*晶体厚度÷（切割片厚度+切割线直径+金刚石粉平均直径）米/分钟；所述切割设备的切割运行速度：250‑750米/秒；所述切割设备的切割施加张力：20‑50牛顿；摇摆角度：0‑±10度；所述冷却液为油。