[发明专利]基于石英基底共面波导的石墨烯射频机械开关有效
| 申请号： | 201610258449.7 | 申请日： | 2016-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN105845513B | 公开（公告）日： | 2018-01-09 |
| 发明（设计）人： | 李鹏 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | H01H59/00 | 分类号： | H01H59/00 |
| 代理公司： | 深圳市鼎言知识产权代理有限公司44311 | 代理人： | 王赛 |
| 地址： | 100084 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于石英基底共面波导的石墨烯射频机械开关结构，属于MEMS技术领域。其特征在于，所述石墨烯射频开关含有从上到下连接在一起的石墨烯(2‑4)、氮化硼(2‑5)、共面波导信号传输线(2‑1)，共面波导地线(2‑2)，石英基底(2‑3)；所述共面波导信号传输线(2‑1)与位于两边的两条共面波导地线(2‑2)，互相平行；所述石墨烯(2‑4)位于氮化硼(2‑5)上方；所述石墨烯(2‑4)和氮化硼(2‑5)组成复合梁结构，梁两端分别与两条共面波导地线(2‑2)接触，中间部分悬空；所述共面波导信号传输线(2‑1)位于所述复合梁结构悬空部分正下方。本发明提供的这种结构可使石墨烯射频机械开关减小插入损耗、增大隔离度，并易于加工。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 石英 基底 波导 石墨 射频 机械 开关 | ||
【主权项】：
基于石英基底共面波导的石墨烯射频机械开关，其特征在于，所述石墨烯射频开关含有从上到下连接在一起的石墨烯(2‑4)、氮化硼(2‑5)、共面波导信号传输线(2‑1)，共面波导地线(2‑2)，石英基底(2‑3)；所述共面波导信号传输线(2‑1)与位于两边的两条共面波导地线(2‑2)，互相平行；所述石墨烯(2‑4)位于氮化硼(2‑5)上方；所述石墨烯(2‑4)和氮化硼(2‑5)组成复合梁结构，所述复合梁两端分别与两条共面波导地线(2‑2)接触，中间部分悬空；所述共面波导信号传输线(2‑1)位于所述复合梁结构悬空部分正下方。
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