[发明专利]基于石英基底共面波导的石墨烯射频机械开关有效
| 申请号： | 201610258449.7 | 申请日： | 2016-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN105845513B | 公开（公告）日： | 2018-01-09 |
| 发明（设计）人： | 李鹏 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | H01H59/00 | 分类号： | H01H59/00 |
| 代理公司： | 深圳市鼎言知识产权代理有限公司44311 | 代理人： | 王赛 |
| 地址： | 100084 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 石英 基底 波导 石墨 射频 机械 开关 | ||
1.基于石英基底共面波导的石墨烯射频机械开关，其特征在于，所述石墨烯射频开关含有从上到下连接在一起的石墨烯(2-4)、氮化硼(2-5)、共面波导信号传输线(2-1)，共面波导地线(2-2)，石英基底(2-3)；所述共面波导信号传输线(2-1)与位于两边的两条共面波导地线(2-2)，互相平行；所述石墨烯(2-4)位于氮化硼(2-5)上方；所述石墨烯(2-4)和氮化硼(2-5)组成复合梁结构，所述复合梁两端分别与两条共面波导地线(2-2)接触，中间部分悬空；所述共面波导信号传输线(2-1)位于所述复合梁结构悬空部分正下方。
2.根据权利要求1所述的石墨烯射频机械开关，其特征在于，所述石墨烯(2-4)为1-10层。
3.根据权利要求1所述的石墨烯射频机械开关，其特征在于，所述氮化硼(2-5)为1-10层。
4.根据权利要求1所述的石墨烯射频机械开关，其特征在于，在所述石英基底共面波导上并排布置多个相同的石墨烯和氮化硼复合梁结构。
5.根据权利要求1所述的石墨烯射频机械开关，其特征在于，在所述石墨烯(2-4)和氮化硼(2-5)组成复合梁结构的中间悬空部分中，石墨烯与氮化硼的形状、面积相同。
6.根据权利要求1所述的石墨烯射频机械开关，其特征在于，所述共面波导通过溅射、或蒸镀或其它方法形成于石英基底上表面，其中金属材料选用Au、Ag、Cu、Al、Pt中的任意一种。
7.根据权利要求1所述的石墨烯射频机械开关，其特征在于，所述石英基底厚度为100-300微米，所述石英基底表面除共面波导以外的区域整体向下凹陷0.1-0.5微米。
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