[发明专利]一种LIBS光谱探测及显微成像的多功能系统在审
| 申请号： | 201610236252.3 | 申请日： | 2016-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN105784681A | 公开（公告）日： | 2016-07-20 |
| 发明（设计）人： | 姜守望;王欣;万金龙;何志平;舒嵘;王建宇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 主分类号： | G01N21/71 | 分类号： | G01N21/71 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 郭英 |
| 地址： | 200083 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种LIBS光谱探测及显微成像的多功能系统，其主要特征在于：将一片施密特校正板插入主镜与被测物体的光路中，施密特校正板的一面设计成高次非球面，施密特校正板最主要的作用是校正主次镜产生的球差，其不仅使得激光聚焦光斑直径变得更小，还可以使得该LIBS系统具有光谱探测和显微成像的双重功能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 libs 光谱 探测 显微 成像 多功能 系统 | ||
【主权项】：
一种LIBS光谱探测及显微成像的多功能系统，包括：激光器(1)，扩束模块(2)，反射式显微系统，像差校正板(7)，耦合透镜组(9)，光纤探测模块(11)，成像探测器(12),其特征在于：激光器(1)发射出1064nm的激光，经扩束模块(2)扩束后，由反射镜(3)和偏置于主镜(5)和次镜(6)之间的第一分色片(4)进入反射式显微系统，之后经像差校正板(7)聚焦到被测物体(8)上，被测物体(8)受到激光照射后产生等离子体光谱，等离子体光谱经主镜(5)、次镜(6)及第一分色片(4)进入耦合透镜组(9)，通过耦合透镜组(9)之后到达偏置于耦合透镜组(9)之后的第二分色片(10)，第二分色片(10)将光束分成两路，一路光进入光谱探测模块(11)进行光谱探测，另一路光进入成像探测器(12)进行显微成像。
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